| VCAD法沉积氮化钛膜的X-射线研究 |
| 刘兴诚;袁镇海;戴达煌;罗广南;谢致薇; |
| 关键词：VCAD 法;氮化钛膜;X-射线 |
| 主要内容：用 VCAD 法在不锈钢和工模具钢基体上沉积均匀、致密的 TiN 膜时,TiN 膜的色泽、结晶取向和点阵常数均可能随着工艺参数的改变而改变,论文作者用 XRD 法研究了不同条件下该 TiN 膜的结构和 |
| 《中国有色金属学报》 1992(1).56-59 |
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