产业集群决策
 
类金刚石膜的制备、性能和应用
 
袁镇海，邓其森，罗广南，谢致薇，郑健红
关键词：类金刚石膜;性能;应用
 
主要内容：本文简单介绍了类金刚石膜的制备方法、并讨论了膜成分、结构、电阻率、硬度、内应力和附着力等性能，总结了类金刚石膜在机械、电子、声学、电子计算机、光学和医学等领域的应用状况以及将来的发展趋势。
 
《材料科学与工程》  1994(4).32-38
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