产业集群决策
 
离子镀技术及其发展_下
 
周克崧,袁镇海,罗广南
关键词：离子镀膜;阴极电弧;靶面;磁控溅射;离子源;空心阴极离子镀;异常放电;活性反应蒸镀;基体温度;基片温度;
 
主要内容：
 
《表面工程》  1997(1).11-13+15
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