产业集群决策
 
离子束增强沉积Si_N膜
 
罗广南,李文治,李恒德
关键词：离子束增强沉积;Si-N膜
 
主要内容：用离子束增强沉积方法制备了ＳｉＮ薄膜，其中Ｓｉ由一束Ａｒ离子从Ｓｉ靶上溅射下来，在溅射沉积的同时，以一束Ｎ离子轰击正在沉积的膜层，于是获得了ＳｉＮ膜。采用卢瑟福背散射、红外光谱和透射电镜对膜层的成
 
《中国有色金属学报》  1996(3).118-121
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