| 真空阴极电弧沉积TiN超硬膜的研究 |
| 袁镇海;罗广南;谢致薇;戴达煌; |
| 关键词：真空阴极电弧沉积;氮化钛超硬膜 |
| 主要内容：研究了真空阴极电弧法沉积 TiN 超硬膜的工艺和应用.结果表明,氮气分压强和负偏压对膜层的结构和性能有很大影响,在氮气分压强为1.30Pa,负偏压为—300V 时沉积的膜层表面"钛滴"少,膜层致密,为 |
| 《光电子技术》 1993(1).44-49 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号