| 真空阴极电弧沉积法沉积类金刚石膜的研究 |
| 袁镇海,谢致薇,罗广南,邓其森,郑健红,戴达煌,付志强 |
| 关键词：真空阴极电弧沉积;类金刚石膜 |
| 主要内容：克服了真空石墨电弧沉积过程中的一些难点,成功地利用真空阴极电弧沉积法制备了类金刚石膜,并对其表面形貌、硬度及结合强度、结构进行了分析,结果表明,真空阴极电弧沉积法是制备综合性能良好的光亮类金刚石膜的有 |
| 《广东有色金属学报》 1997(2).131-136 |
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