| 真空阴极电弧沉积法沉积类金刚石膜在扬声器振膜上应用的研究 |
| 谢致薇,郑健红,袁镇海,邓其森,罗广南,戴达煌,付志强 |
| 关键词：真空阴极电弧沉积;类金刚石膜;扬声器振膜 |
| 主要内容：采用真空阴极电弧沉积技术 ,在纯钛球顶高音扬声器振膜上镀类金刚石膜 ,成为类金刚石 /钛复合振膜 .研究了钛基体的材质、厚度、振膜的几何尺寸和形状、类金刚石镀膜工艺参数对复合振膜性能的影响 .在镀膜过 |
| 《广东有色金属学报》 1998(1).52-56 |
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