| 直流等离子射流法制作金刚石薄膜 |
| 周克崧;王健;王德政;韩培刚;冯碧光; |
| 关键词:金刚石薄膜;等离子射流法;金刚石膜;薄膜研究;化学气相沉积;透光性能;人造金刚石;高温超导材料;基体温度;波长范围; |
| 主要内容:一、前言近些年来人造金刚石薄膜研究已继高温超导材料之后,成为全世界材料科学的一大热门课题。形成这样一个新高潮的原因就是金刚石薄膜具有一系列令人瞩目的特性,它强烈地吸引着全世界的科学工作者,它具有高的硬 |
| 《表面工程》 1992(2).42926 |
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