| IM-C 型红外水份_薄膜厚度测试仪的研制 |
| 林瑞国,刘青,卢竞宪,郭蓥武,黄桂兰 |
| 关键词：红外水份仪;红外测厚仪;双光路;多光束;数据处理 |
| 主要内容：本文介绍一种新型的红外水份、薄膜厚度在线测试仪器。着重分析双光路、多光束、非球面聚光反射镜光路系统及其光学自补偿原理。阐述数据处理器的采样技术和软件工作站的引入。 |
| 《仪表技术与传感器》 1998(10).19-22+26 |
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