| 聚酯型光致抗蚀剂的分子组成和性能研究 |
| 黄建兴;余显辉;吕广镛;林忠捷;叶和珏;华光; |
| 关键词：光致抗蚀剂;聚酯型;酯胶;丙二酸二乙酯;碳原子数;性能比;微电子工业;丁二醇;对苯二甲酸;抗蚀性; |
| 主要内容：由肉桂叉丙二酸(或酯)与乙二醇合成的聚酯胶在微电子工业上作为光致抗蚀剂使用时,最突出的优点是分辨率高、光敏性好,主要缺点是抗蚀性较差,针孔较多,应用受到极大的限制。为了探索聚酯胶的分子组成和性能的关系 |
| 《化学通报》 1985(10).43051 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号