| 三种聚酯型光敏树脂的合成及其光刻性能 |
| 林忠捷,黄建兴 ,梁致诚 ,曾昭琼 |
| 关键词：聚酯型;光敏树脂;酯胶;光敏性;奇偶数;比浓粘度;次甲基;丙二酸二乙酯;主链结构;曝光时间; |
| 主要内容：本文报导了三种新的聚酯型光敏树脂,探索了适宜的合成条件和反应规律,初步探讨了聚酯型光敏树脂结构和性能的关系,发现影响聚酯胶光敏性和耐热性能的“奇偶数效应”.产品的曝光时间缩短到1秒左右,分辨率达到O. |
| 《华南师范大学学报(自然科学版)》 1984(2).42-48 |
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