| 准分子激光扫描消融淀积大尺寸超导薄膜 |
| 宋文栋,安承武,陆冬生,范永昌,李再光,黄景清,钟红海,赵兴荣,麦志洪,周方桥,郭青蔚,李月南,华志强 |
| 关键词：超导薄膜;淀积;临界电流密度;零电阻;厚度均匀性;光学变换;准分子激光;激光扫描;薄膜技术;激光消融; |
| 主要内容：利用我们设计的一套光学变换传输系统实现了激光束在超导靶上一定范围内扫描消融来淀积高T_c超导薄膜。实验表明用这种激光扫描消融方法可使大尺寸超导薄膜的厚度均匀性得到较大的改善。我们采用激光扫描半径为9m |
| 《物理学报》 1993(10).1674-1679 |
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