| CSD-La_3TaO_7薄膜外延生长行为 |
| 王耀;李成山;于泽铭;冯建情;金利华;王辉;张平祥; |
| 关键词：涂层导体;缓冲层;化学溶液沉积 |
| 主要内容：研究CSD技术制备La_3TaO_7(LTO)缓冲层过程中前驱液的热分解行为以及热处理工艺对薄膜取向生长的影响,通过选取恰当的LTO前驱液以及快速升温热处理的方法最终获得了良好c轴织构的LTO薄膜。 |
| 《稀有金属材料与工程》 2016(7).1832-1835 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
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