| 磁控溅射法LaMnO_3帽子层的外延生长探究 |
| 鲁玉明;闫祥发;范峰;梁玉;白传易;刘志勇;郭艳群;朱红艳;范晓鹏;蔡 |
| 关键词：LaMnO_3;帽子层;直流磁控溅射;涂层导体 |
| 主要内容：采用卷对卷装置通过直流反应磁控溅射法在离子束辅助沉积(IBAD)的MgO上生长获得了纯c轴织构的LaMnO_3(LMO)帽子层,详细研究了不同基底温度、氧分压、溅射功率及不同MgO基底对LMO帽子层微结构及其性能的影响,研究表明,LMO具有 |
| 《低温物理学报》 2016(6).28-32 |
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