| 液晶显示器用ITO透明导电膜技术现状 |
| 胡炳森 王剑峰 |
| 关键词：透明导电玻璃 液晶显示器 磁控溅射 |
| 主要内容：随着液晶显示器件产业的飞速发展，对作为平板显示器透明电极的ＩＴＯ导电玻璃的需求也日益增，由于ＬＣＤ正向大型化和高精细化发展，因而对ＩＴＯ膜的特性提出了许多新的更为严格的要求，本文综述性介绍透明导电膜制造中最常的ＩＴＯ膜磁控溅射成膜技术和设备以及靶的现状主。 |
| 《真空科学与技术》 1995,15(2).-135-139 |
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