| 热处理参数对LZO膜外延生长的影响 |
| 于泽铭;王耀;金利华;李成山;张平祥; |
| 关键词：La2Zr2O7(LZO)缓冲层;化学溶液沉积技术;外延生长 |
| 主要内容：研究了热处理参数对LZO膜外延生长的影响。结果显示实验条件范围内,升高热处理温度、延长热处理时间和加快升温速度有利于提高(400)_(LZO)衍射峰的强度。相对于热处理温度、热处理时间和升温速度,LZO膜的织构类型对热处理时的氧分压十分敏感 |
| 《稀有金属材料与工程》 2016(10).2683-2686 |
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