| Ag含量对CrN_Ag薄膜微结构、力学及摩擦磨损性能的影响 |
| 喻利花;叶刚;鞠洪博;许俊华; |
| 关键词：CrN/Ag复合膜;微观结构;力学性能;摩擦磨损性能 |
| 主要内容：通过反应磁控溅射法分别沉积了不同Ag含量(Ag/(Ag+Cr)=2.9~21.2%(原子比))的CrN/Ag复合膜,采用能谱仪、X射线衍射仪、纳米压痕仪、扫描电镜、摩擦磨损仪等研究了CrN/Ag复合膜的化学成份、微观结构、力学性能及摩擦磨损性能。结果表明:CrN/Ag薄膜为面心立方结构,由fcc-C |
| 《真空科学与技术学报》 2016(4).413-417 |
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