| Al_2O_3薄膜的性能、制备与应用 |
| 贾新伟;初蕾;朱志斌;刘英才;陈志鹏;王玮; |
| 关键词：电泳沉积;氧化铝/钛酸钡交织结构;低频介电性能 |
| 主要内容：采用电泳沉积技术在经三乙醇胺处理的铝电极上成功制备Al_2O_3/BaTiO_3交织结构薄膜,探讨了电泳沉积电压和沉积时间对沉积薄膜低频介电性能的影响。悬浮液中颗粒在较高的电压下运动速度较快,且沉积时间较短时,悬浮液的浸泡作用对沉积薄膜的影响较小,热处理后形成的Al_2O_3/BaTi |
| 《山东化工》 2016(13).1-4+7 |
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