| ALD-coated ultrathin Al_2O_3 film on BiVO_4 nanoparticles for efficient PEC water splitting |
| 李学磊;冯煜东;王志民;王艺;赵慨;王虎;杨淼; |
| 关键词：Al_2O_3薄膜;性能;制备方法;应用 |
| 主要内容：概述了Al_2O_3薄膜的组织结构和性能特性;系统叙述了Al_2O_3薄膜的多种制备方法,包括真空蒸发法、直流反应磁控溅射法、射频磁控溅射法、射频反应磁控溅射法、中频反应磁控溅射法、脉冲反应磁控溅射法、离子束辅助沉积法、脉冲激光沉积法、化学气相沉积法和溶胶-凝胶法,并综合i |
| 《真空》 2016(3).16-21 |
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