| Al掺杂量对Cu(In_(1-x)Al_x)S_2薄膜性能的影响 |
| 金成飞;司美菊;徐阳;杜波;陈云祥; |
| 关键词：AlN薄膜;磁控溅射;结晶取向度;应力;薄膜体声波谐振器(FBAR) |
| 主要内容：采用磁控溅射法制备了AlN薄膜并研究了射频(RF)等离子清洗对AlN薄膜结晶取向度的影响,实验表明,RF等离子清洗基片3min后AlN薄膜c轴取向摇摆曲线半峰宽达到1.3°;通过Mo薄膜衬底对AlN薄膜结晶取向度的影响发现,取向度好的Mo薄膜衬底有利于c轴取向AlN薄膜的生长;Ar气体流量对AlNi |
| 《压电与声光》 2016(4).539-540+547 |
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