| Al和Mn掺杂ZnO薄膜的结构和电学性质 |
| 娄有信;闫明姝;周海峰;杨子;张莹;赵玉军;沈建兴; |
| 关键词：功能薄膜;旋涂法;掺杂浓度;微观结构 |
| 主要内容：采用无水乙醇新溶剂体系,利用旋涂技术在超薄玻璃基片表面制备Al∶ZnO薄膜层,并研究铝掺杂含量对膜微观结构及光学性能的影响。通过X射线衍射技术(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外-可见分光度计对膜层的物相、表面与断面形貌及可见光透过率进行分析。结果表明:无水乙醇溶剂条i |
| 《齐鲁工业大学学报(自然科学版)》 2016(6).21-24 |
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