| BaCo_(0.7)Fe_(0.2)Nb_(0.1)O_(3-δ)非对称透氧膜的制备和研究 |
| 张程;代明江;石倩;代建清; |
| 关键词：AZO薄膜;磁控溅射;光电性能;AZO/metal/AZO多层膜 |
| 主要内容：掺铝氧化锌(AZO)薄膜其原料来源广、经济无毒,且具有优越的光电性能,可以与传统铟锡氧化物(ITO)薄膜相媲美,是优良的透明导电材料。目前,关于各制备工艺参数对AZO薄膜的影响规律及其影响机理仍是研究热点。综述了透明导电AZO薄膜光学与电学性能的研究进展,讨论了各制备工艺条件 |
| 《材料导报》 2016(S1).228-234 |
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