| CrSiCN薄膜的力学性能及水润滑特性研究 |
| 杜晓明;王敏鹏;王燕;李新喜;张罡;黄朝强;吴二冬; |
| 关键词：中子反射;CrAlN/TiAlN多层膜;界面结构 |
| 主要内容：采用反应磁控溅射技术在单晶硅基片上制备了CrN纳米单层膜和CrAlN/TiAlN纳米周期膜,利用非极化中子和X射线反射对膜层厚度、膜层界面粗糙度、界面扩散等表面、界面结构和性质进行了系统研究。中子反射测得的CrN纳米单层膜和CrAlN/TiAlN纳米周期膜的厚度与设计厚度的差别为3.8%~ |
| 《原子能科学技术》 2016(6).1112-1117 |
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