| Cu_2O薄膜的电化学沉积及其生长机理研究 |
| 王波;吴志威;高宋;周飞; |
| 关键词：CrSiCN薄膜;摩擦特性;水润滑;力学性能 |
| 主要内容：运用非平衡磁控溅射技术,通过改变硅烷的流量,在Si(100)和316L不锈钢片基材上沉积不同元素含量的CrSiCN四元薄膜;运用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和纳米压痕仪分别研究薄膜的结构、表面形貌和纳米硬度;运用球-盘摩擦磨损试验机研究水润滑下CrSiCN薄膜与Al_2O_3小球对摩的摩擦~ |
| 《润滑与密封》 2016(3).60-65 |
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