| Cu_2O氧气流量对ZnO-Cu_2O薄膜异质结特性的影响 |
| 吕佩伟;翁卫祥;施洋;马靖; |
| 关键词：磁控溅射;氧化亚铜;氧气流量;薄膜;异质结;I-V特性 |
| 主要内容：利用磁控溅射法在BK-7玻璃基片上制备了ZnO-Cu_2O薄膜异质结。利用X射线衍射、分光光度计和范德堡方法分析了不同氧气流量对Cu_2O单层薄膜的结构、光学和电学性质的影响,并分析了不同氧气流量制备的Cu_2O对ZnO-Cu_2O异质结I-V特性的影响。研究结果表明:ZnO-Cu_2O薄膜异质结样 |
| 《电子元件与材料》 2016(4).25-28 |
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