| Cu含量对NbCN-Cu复合膜微结构、力学性能及摩擦磨损性能的影响 |
| 杨明敏;陈芊;黄美东;张建鹏;李园;王宇; |
| 关键词：Cu-Al共掺ZnO薄膜;掺杂;微观结构;电学性能;光学性能 |
| 主要内容：利用FJL560CI2型磁控溅射仪,通过改变掺杂所用的铜丝长度而保持铝丝长度不变,制备了掺杂浓度和掺杂比例不同的Cu-Al共掺ZnO薄膜。通过X射线衍射图谱来分析薄膜样品的微观结构特征,采用扫描电子显微镜观察了样品的表面形貌,样品的电学性能和光学性能分别利用HMS-2000霍尔效应测? |
| 《真空》 2016(3).30-32 |
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