| Cu互连中V、V-N和V_V-N薄膜的扩散阻挡性能 |
| 喻利花;孙晨;许俊华; |
| 关键词：射频磁控溅射;NbCN-Cu复合膜;微观组织;摩擦性能 |
| 主要内容：利用高真空磁控溅射仪制备了不同Cu含量的NbCN-Cu复合膜。采用X射线光电子能谱、X射线衍射仪、纳米压痕仪、扫描电镜、三维形貌仪和摩擦磨损仪对薄膜的微观结构、力学性能以及摩擦磨损性能进行了分析。结果表明,NbCN-Cu复合膜为面心立方δ-NbN、六方δ'-NbN和单质Cu相三相共存? |
| 《真空科学与技术学报》 2016(4).377-384 |
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