| C含量对WAlCN复合膜的微结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响 |
| 曾伟;赵洪舰;郭磊;叶福兴; |
| 关键词：磁控溅射;WAlCN复合膜;微结构;力学性能;摩擦性能 |
| 主要内容：采用磁控溅射物理气相沉积法沉积了不同含C量(0~20.7%(原子比))的WAlCN复合膜。利用X射线衍射和Raman表征了WAlCN膜的微结构;用扫描电镜、压痕仪和高温摩擦磨损仪等研究了其力学和摩擦磨损性能。结果表明:复合膜是由石墨相和面心立方的WAlN相构成,呈(200)择优生长。当WAlCN复合 |
| 《真空科学与技术学报》 2016(2).125-129 |
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