| c轴取向钒酸铋铁电薄膜的制备及电学性能 |
| 谢伟;唐晓山;邹长伟; |
| 关键词：化学溶液沉积法;钒酸铋;择优取向;铁电薄膜 |
| 主要内容：采用旋涂法在Pt/Ti/SiO_2/Si衬底上制备Bi_2VO_(5.5)铁电薄膜,研究退火温度对薄膜物相结构、表面形貌、电学性能的影响.500,550,600,700℃退火所得薄膜均表现出c轴取向,且c轴取向度随温度升高而增加,同时薄膜的介电常数增加,介电损耗略有降低,低频色散现象略有减弱.700 |
| 《材料研究与应用》 2016(3).176-180 |
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