| FTO薄膜制备技术研究进展 |
| 李长虹;赵贤辉;梁松;王海;刘岭;黄梓麟; |
| 关键词：FTO;SiO2;溶胶凝胶;薄膜;复合薄膜;方块电阻 |
| 主要内容：采用溶胶-凝胶法制备了FTO/SiO_2复合薄膜。使用扫描电镜、X射线衍射仪、厄氏粘度计和表面四点探针等手段,研究了乙醇与正硅酸乙酯比例、水与正硅酸乙酯比例、掺杂F、薄膜的厚度、热处理温度、溶胶黏度、薄膜表面形貌、组织结构和电阻等制备参数和性能特征。适合于制备FTO/SiO_ |
| 《稀有金属材料与工程》 2016(S1).107-110 |
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