Getting to the Bottom Morphology of Block Copolymer Thin Films
 
刘巧丽;刘军伟;孟繁强;王璐;李廷取;

关键词:相变材料;Ge2Sb2Te5;结构;DSC;结晶温度
 
主要内容:利用射频磁控溅射法在室温下沉积了GST相变薄膜,利用XRD、AFM对其结构进行表征,原位XRD及DSC测试确定其结晶温度.(原位)XRD测试表明,室温下沉积的GST薄膜为非晶态,且在室温~375℃温度范围内,样品经历了非晶态→立方晶态→六方晶态相转变;通过原位XRD和DSC测试确定的GST薄膜的结
 
《吉林化工学院学报》  2016(9).41-44
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