| He,Au离子辐照AuCu_3致元素表面偏析 |
| 法涛;陈田祥;韩录会;莫川; |
| 关键词：离子辐照;表面偏析;AuCu_3 |
| 主要内容：采用磁控溅射方法在单晶硅(111)衬底上制备了AuCu_3薄膜,用2 MeV He离子和1 MeV Au离子对薄膜进行辐照,用卢瑟福背散射对He,Au离子辐照前后AuCu_3薄膜近表面的成分变化进行了分析,对不同离子辐照导致的表面元素偏析行为进行了研究.结果表明:当2 MeV He离子辐照时,随着辐 |
| 《物理学报》 2016(3).361-367 |
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