| HfO_2薄膜或涂层的制备方法及相应特点 |
| 向耿辉;邸永江;杨声平;杨号; |
| 关键词：热丝化学气相沉积;金刚石薄膜;表面预处理;基片温度;沉积气压 |
| 主要内容：金刚石薄膜由于其独特的性能成为研究热点。本文通过利用热丝气相沉积法(HFCVD)在基片上制备金刚石薄膜,研究对金刚石薄膜产生影响的各个因素,探讨各个影响因素的研究进展。基体表面预处理,可以提高基体的附着力,改善提高膜基结合力。通过改变甲烷和氢气浓度、沉积气压、温度等 |
| 《广州化工》 2016(3).20-22 |
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