| ITO薄膜的研究进展 |
| 吴斯泰;沈鸿烈;姚函妤;李玉芳;沈小亮; |
| 关键词：ITO/TiW双层薄膜;欧姆接触;p型单晶硅;磁控溅射 |
| 主要内容：利用射频磁控溅射两步法分别在玻璃和p型单晶Si衬底上制备ITO/Ti W双层薄膜。采用紫外-可见分光光度计、四探针测试仪和X射线衍射仪表征ITO/Ti W双层薄膜的光学性能、电学性能和结晶性能,用吉时利2400表和线性传输线模型测试ITO/Ti W双层薄膜与p-Si接触的I-V曲线以及比接触电阻 |
| 《真空科学与技术学报》 2016(10).1187-1192 |
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