| LaNiO_3凝胶薄膜微细图形的制备 |
| 李大玉;高瑞芳; |
| 关键词：镍酸镧薄膜;微细加工;溶胶-凝胶直接感光法;微细图形 |
| 主要内容：采用溶胶-凝胶工艺,以Ni(Ac)_2、La(NO_3)_3为前驱原料,以乙醇和乙二醇甲醚为溶剂,以丙烯酸为稳定剂,乙酰丙酮(AcAc)为化学修饰剂制备了感光性LNO溶胶。通过其溶胶的紫外和红外吸收光谱研究了感光性LNO溶胶的紫外感光机理,并运用溶胶-凝胶直接感光法制备出LNO薄膜的微细图形。 |
| 《材料导报》 2016(S2).259-261 |
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