| LTCC厚薄膜混合基板加工研究 |
| 朱亚真;李涛;李延增; |
| 关键词：TiO2纳米薄膜;LPCVD;物效;能效 |
| 主要内容：针对LPCVD法制备TiO_2纳米薄膜过程中物效和能效低的特点,主要考虑沉积压力、沉积温度和物料的流量3个因素。研究了不同的工艺参数在沉积一定时间后的物效、能效计算和分析方法。结果显示,在一定的范围内,压力的提高能够有效提高物效和能效;随着温度的升高,物效提高而能效先降 |
| 《化工机械》 2016(6).731-735 |
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