| MPCVD法制备纳米金刚石薄膜的研究及应用进展 |
| 何硕;汪建华;翁俊;刘繁; |
| 关键词：微波等离子体;化学气相沉积;纳米金刚石薄膜;应用 |
| 主要内容：通过介绍不同气源和相关工艺参数(温度、功率等)对MPCVD法制备纳米金刚石的影响,并对部分学者的研究成果进行简述。然后简要概括了MPCVD纳米金刚石在各种窗口、宽禁带半导体功率器件以及生物医学中的应用,最后对纳米金刚石未来的发展做出展望。 |
| 《真空与低温》 2016(5).254-259 |
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