| MPCVD制备大面积自支撑金刚石膜研究进展 |
| 刘繁;翁俊;汪建华;王秋良;孙祁; |
| 关键词：金刚石膜;MPCVD;谐振腔 |
| 主要内容：微波等离子体(MPCVD)法因其独特的优势,成为高速、大面积、高质量制备金刚石膜的首选方法,MPCVD金刚石膜装置的研究受到科研人员和工业界的广泛关注。文章对金刚石膜的性质和各种制备方法进行了简要概述,论述了CVD金刚石膜的生长机理,着重阐述了各种MPCVD装置的结构特点及工作? |
| 《真空与低温》 2016(3).132-137 |
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