| MPCVD制备金刚石膜的形核与生长过程 |
| 刘辉;汪建华;翁俊;陈义;吴骁; |
| 关键词：金刚石膜;大面积;自支撑;均匀性;沉积速率 |
| 主要内容：金刚石膜因其优异的物理化学性质备受关注,而大面积自支撑金刚石膜因其结构完整性在各大领域的应用范围更胜一筹。综述了大面积自支撑金刚石膜的、研究进展和影响其沉积均匀性和沉积速率的因素。表明微波频率越高,沉积速率越快;而气体流速对沉积速率的影响呈现先增大后减少的趋 |
| 《真空与低温》 2016(6).319-323+330 |
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