| Multiscale and multicomponent layer by layer assembly of optical thin films triggered by electrochemical |
| 江彩义;髙冀芸;郭胜惠;杨黎;彭金辉;张利波;胡途;王仕兴; |
| 关键词：金刚石膜;微波等离子体;化学气相沉积;形核;生长 |
| 主要内容：简要介绍了金刚石膜的物理化学特性及应用领域。对比分析了主要化学气相沉积方法的优缺点,并指出MPCVD所面临的技术瓶颈。总结了反应腔体内压强、基片温度、基体材料及增强形核技术对金刚石膜形核过程的影响。较低腔体内压力、基片温度,高碳源浓度及等离子体预处理能有效提高形 |
| 《材料导报》 2016(11).83-88 |
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