| Near-infrared lateral photovoltaic effect of epitaxial LaTiO--_(3+δ) films under high pressure |
| 陈朋灿;李伟;刘平;张柯;马凤仓;陈小红;何代华; |
| 关键词：NbSiN纳米复合膜;显微结构;超硬效应;强化机制 |
| 主要内容：采用NbSi复合靶,通过调节Nb与Si的比例,利用磁控溅射射频工艺,在单晶硅片上沉积不同Si含量的NbSiN纳米复合膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪和高分辨透射电镜等,研究了Si含量对NbSiN纳米复合膜的微观结构和力学性能的影响。结果表明:随着薄膜中Si含量的增加,其结晶程度先升高, |
| 《真空科学与技术学报》 2016(6).649-653 |
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