| PT种子层对PZT薄膜结晶及压电性能的影响 |
| 李磊;余远根;姜涛;祝元坤;王现英;郑学军; |
| 关键词：溶胶-凝胶法;PZT薄膜;退火温度;钙钛矿结构;PT种子层;压电系数 |
| 主要内容：采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)在Pt/Si衬底上制备了PbTiO_3(PT)薄膜和Pb(Zr_x,Ti_(1-x))O_3(PZT)薄膜,研究了退火温度以及PT种子层对PZT薄膜结晶及压电性能的影响。X射线衍射(XRD)结果表明,制备的PZT薄膜为纯钙钛矿结构的多晶薄膜,有PT种子层的PZT薄膜 |
| 《电子科技》 2016(4).42740 |
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