| Simulation of Temperature Distribution in Hot Filament Chemical Vapor Deposition |
| 方茜;黄峰;陈江风; |
| 关键词：磁控溅射;Si-C薄膜;负极材料;锂离子电池 |
| 主要内容：采用磁控溅射法,通过控制其中石墨薄膜的溅射时间,在铜箔集流体上沉积了三种不同厚度的Si-C复合薄膜。运用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)对样品表面形貌和结构进行分析。运用恒电流充放电和循环伏安等方法研究了复合薄膜作为锂二次电池负极材料的电化学性能。结果表? |
| 《广东化工》 2016(22).81-83 |
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