| Si衬底上插入SiO_2膜对Ag纳米颗粒陷光性能的影响（英文） |
| 安涛;邓晓芳;王丽丽;宋立军; |
| 关键词：SiNx薄膜;纳米压痕;脆性断裂;界面断裂 |
| 主要内容：利用磁控溅射方法在Si(111)衬底上制备了厚度为1μm的非晶SiN_x薄膜,采用纳米压痕方法研究了薄膜的变形和断裂行为。傅立叶变换红外光谱显示实验获得了较为纯净的SiN_x薄膜。SiN_x薄膜在纳米压痕下呈现出放射状的脆性断裂特征,随着压入深度的增大,放射状裂纹的长度逐渐增加。最 |
| 《功能材料》 2016(10).10235-10238+10244 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号