| Si和6H-SiC衬底上β-FeSi_2薄膜的制备 |
| 白一鸣;延玲玲;王艳宁;苏琳;刘海;陈诺夫;姚建曦; |
| 关键词：二氧化硅膜;银纳米颗粒;形成机理;消光谱;陷光性能 |
| 主要内容：采用磁控溅射法在Si衬底上制备了SiO_2介质膜,系统地研究了SiO_2膜引入对Ag纳米颗粒的表面覆盖率、形貌、形成机理和光学性质的影响.研究发现引入SiO_2介质膜后,Ag纳米颗粒的表面覆盖率显著增加,平均粒径明显降低.基于现有的Ag纳米颗粒形成机理,提出了粗糙表面Ag膜断裂模型以解 |
| 《光子学报》 2016(5).32-37 |
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