| Si和6H-SiC衬底上β-FeSi_2薄膜的制备 |
| 宁耀斌;蒲红斌;陈春兰;李虹;李留臣; |
| 关键词：β-FeSi2薄膜;6H-SiC衬底;Si衬底;磁控溅射 |
| 主要内容：以6H-SiC(0001)Si面和Si(100)为衬底,采用磁控溅射Fe-Si合金靶和Si靶两靶共溅射的方法,并经过后续的快速退火成功制备了β-FeSi2薄膜。通过X射线衍射(XRD)、拉曼(RAMAN)和电子扫描电镜(SEM)研究了不同衬底对薄膜生长过程的影响。结果表明:与Si衬底不同,6H-Si |
| 《人工晶体学报》 2016(3).629-632+638 |
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