| TiAlN_TiN纳米多层膜的微结构与力学性能 |
| 何乃如;王飞飞;吉利;李红轩;陈建敏; |
| 关键词：Cr2O3薄膜;元素扩散;类网状凸起结构;摩擦与磨损 |
| 主要内容：为了研究Ti和Cr元素在Cr_2O_3薄膜中的扩散行为及其对摩擦学性能的影响,对Cr_2O_3薄膜在1 000℃大气环境下进行不同保温时间的退火处理。利用扫描电子显微镜、三维轮廓仪、X射线衍射仪以及透射电镜对薄膜的表面形貌、成分以及结构进行分析,采用球盘式摩擦磨损试验机对Cr_2O_3薄 |
| 《中国表面工程》 2016(6).67-74 |
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