| Ti-Al-N沉积态薄膜的制备 |
| 王蕾;陈楠;刘佳磊;金松哲; |
| 关键词：Ti2AlN薄膜;多弧离子镀;表面形貌 |
| 主要内容：本文以06Cr18Ni9不锈钢作为基体材料,采用多弧离子镀进行Ti-Al-N沉积态薄膜的制备,并研究了多弧离子镀对Ti-Al-N沉积态薄膜表面形貌的影响。研究表明:当氮气通量为40sccm时,Ti-Al-N薄膜膜层表面的大颗粒消失,凹坑变得浅而平整均匀,但当氮气通量超过40sccm时,表面大颗粒反而 |
| 《山东工业技术》 2016(18).47 |
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