| VO_2薄膜常见制备方法综述 |
| 郑鸿柱;李毅;陈少娟;陈建坤;袁文瑞;孙瑶;唐佳茵;刘飞;郝 |
| 关键词：VO2;FTO;氮氧混合;热致变色;光电特性 |
| 主要内容：采用直流磁控溅射法在掺氟的SnO_2(FTO)导电玻璃衬底上沉积纯钒金属薄膜,再在常压氮氧混合气氛中退火制备VO_2/FTO复合热致变色薄膜,并对复合薄膜的结构、光学特性以及电学特性进行了测试分析。结果表明,薄膜结晶程度较高,表面平滑致密,具有很好的一致性,导电玻璃上的FTO并没有 |
| 《稀有金属材料与工程》 2016(6).1593-1599 |
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