| W掺杂VO_2薄膜的椭圆偏振光谱表征 |
| 谢添乐;周灵平;符立才;朱家俊;杨武霖;李德意; |
| 关键词：W-Cu薄膜;沉积初期;微观结构;晶化 |
| 主要内容：采用直流双靶磁控溅射共沉积的方法制备了W含量为75%(原子分数)的W-Cu薄膜,并通过EDS、XRD、SEM、TEM等对W-Cu薄膜沉积初期的微观形貌及组织结构进行了表征和分析。结果表明,沉积初期,随着沉积时间延长,W-Cu薄膜有逐渐晶化的趋势,并形成了W(Cu)基亚稳态固溶体,且Cu在W中的固溶? |
| 《材料导报》 2016(24).98-102 |
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